國(guó)機(jī)集團(tuán)所屬沈陽(yáng)儀表院承擔(dān)的沈陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗(yàn)收。

該項(xiàng)目采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設(shè)計(jì)、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有創(chuàng)新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際一流。（宗瑞）